Ионное травление - удаление вещества с поверхности твёрдого тела под действием ионной бомбардировки.
Процесс И. т. зависит от интенсивности пучка, вида, энергии н угла
падения ионов, а также от материала и состояния мишени. В процессе И. т.
вследствие распыления, дефектообразования, имплантации ионов
и атомов отдачи меняются элементный состав и структура поверхности:
происходит обогащение поверхности определ. элементом, кристаллизация или
аморфизация поверхностного слоя. Изменение поверхностного рельефа при И. т. включает неск. стадий: 1) возникновение дефектов (вакансий, межузельных атомов, дислокаций);
2) появление микроскопич. неоднородностей размерами 10-100 нм [ямки
травления, конич. или пирамидальные выступы (рис. 1,2) границы зёрен];
3) образование неоднородностей макроскопич. размеров порядка долей мкм.
Скорость И. т. в единицах массы вещества, уносимого с единичной
площадки, определяется соотношением:
v=[MK/NZe]j,
где М - ат. масса вещества мишени, К - коэф. распыления, N - число Авогадро, Ze - заряд иона, j-
плотность ионного тока. Толщина слоя, распылённого за 1 с, равна v/r,
где r - плотность мишени.
И. т. используется для выявления структуры поверхности, дефектов,
деформированных участков. И. т. применяется также для создания
многоострийной поверхности (см. Автоэлектронная эмиссия, Ионный проектор), для профилирования при послойном анализе состава разл. слоев методами оже-спектроскопии ,для избирательного удаления вещества через маски при создании элементов микроэлектроники (см. Микролитография).
Л. И. Прапявичус, Ю. И. Дувонис
1. Электромагнитная волна (в религиозной терминологии релятивизма - "свет") имеет строго постоянную скорость 300 тыс.км/с, абсурдно не отсчитываемую ни от чего. Реально ЭМ-волны имеют разную скорость в веществе (например, ~200 тыс км/с в стекле и ~3 млн. км/с в поверхностных слоях металлов, разную скорость в эфире (см. статью "Температура эфира и красные смещения"), разную скорость для разных частот (см. статью "О скорости ЭМ-волн")
2. В релятивизме "свет" есть мифическое явление само по себе, а не физическая волна, являющаяся волнением определенной физической среды. Релятивистский "свет" - это волнение ничего в ничем. У него нет среды-носителя колебаний.
3. В релятивизме возможны манипуляции со временем (замедление), поэтому там нарушаются основополагающие для любой науки принцип причинности и принцип строгой логичности. В релятивизме при скорости света время останавливается (поэтому в нем абсурдно говорить о частоте фотона). В релятивизме возможны такие насилия над разумом, как утверждение о взаимном превышении возраста близнецов, движущихся с субсветовой скоростью, и прочие издевательства над логикой, присущие любой религии.
4. В гравитационном релятивизме (ОТО) вопреки наблюдаемым фактам утверждается об угловом отклонении ЭМ-волн в пустом пространстве под действием гравитации. Однако астрономам известно, что свет от затменных двойных звезд не подвержен такому отклонению, а те "подтверждающие теорию Эйнштейна факты", которые якобы наблюдались А. Эддингтоном в 1919 году в отношении Солнца, являются фальсификацией. Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.